| 索引号： |
11340102556340713k /202603-00001 |
信息分类： |
企业投资项目备案 |
| 发布机构： |
瑶海区发展和改革委员会 |
生成日期： |
2026-03-09 |
| 文 号： |
,, |
有效性： |
有效 |
| 生效时间： |
有效 |
废止时间： |
暂无 |
| 名 称： |
高端半导体原子层沉积装备中试及共性技术研发平台项目 |
失效时间： |
暂无 |
| 关键词： |
|
| 索引号： |
11340102556340713k /202603-00001 |
| 信息分类： |
企业投资项目备案 |
| 发布机构： |
瑶海区发展和改革委员会 |
| 生成日期： |
2026-03-09 |
| 名 称： |
高端半导体原子层沉积装备中试及共性技术研发平台项目 |
| 失效时间： |
暂无 |
| 有效性： |
有效 |
| 生效时间： |
有效 |
| 废止时间： |
暂无 |
| 文 号： |
,, |
| 关键词： |
|
高端半导体原子层沉积装备中试及共性技术研发平台项目
发布时间： 2026-03-09 15:54 信息来源： 瑶海区发展和改革委员会
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